Литографийн машин Маск тэгшлэгч Фото сийлбэрийн машин
Бүтээгдэхүүний танилцуулга
Гэрлийн эх үүсвэр нь импортын хэт ягаан туяаны LED болон гэрлийн эх үүсвэрийн хэлбэржүүлэх модулийг ашигладаг бөгөөд бага дулаантай, сайн гэрлийн эх үүсвэрийн тогтвортой байдалтай.
Урвуу гэрэлтүүлгийн бүтэц нь дулаан сарниулах болон гэрлийн эх үүсвэрийг хаах сайн нөлөөтэй бөгөөд мөнгөн усны чийдэнг солих, засвар үйлчилгээ хийхэд хялбар бөгөөд тохиромжтой. Өндөр томруулдаг дуран хос талбайн микроскоп болон 21 инчийн өргөн LCD дэлгэцтэй тул нүдээр харах боломжтой.
Дуран эсвэл CCD + дэлгэц, өндөр тохируулгын нарийвчлал, ойлгомжтой үйл явц, тохиромжтой ажиллагаатай.
Онцлог шинж чанарууд
Фрагмент боловсруулах функцтэй
Холбоо барих даралтыг тэгшлэх нь мэдрэгчээр дамжуулан давтагдах боломжийг баталгаажуулдаг
Зэрэгцүүлэлтийн зай болон өртөлтийн зайг дижитал байдлаар тохируулж болно
Суулгагдсан компьютер + мэдрэгчтэй дэлгэцийн ажиллагаатай, энгийн бөгөөд тохиромжтой, үзэсгэлэнтэй бас өгөөмөр
Дээш болон доош татах хэлбэрийн хавтан, энгийн бөгөөд тохиромжтой
Вакуум контактын өртөлт, хатуу контактын өртөлт, даралтын контактын өртөлт болон ойрын зайд өртөхийг дэмжинэ
Нано хэвлэмэл интерфэйсийн функцтэй
Нэг товчлууртай нэг давхаргын өртөлт, өндөр түвшний автоматжуулалт
Энэ машин нь найдвартай байдал сайтай, үзүүлбэр үзүүлэхэд тохиромжтой, ялангуяа коллеж, их сургуулиудын сургалт, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрүүдэд тохиромжтой
Дэлгэрэнгүй мэдээлэл
Тодорхойлолт
1. Гэрлийн талбай: 110мм × 110мм;
2. ★ Гэрлийн долгионы урт: 365нм;
3. Нарийвчлал: ≤ 1м;
4. Зэрэгцүүлэлтийн нарийвчлал: 0.8м;
5. Зэрэгцүүлэлтийн системийн сканнердах хүснэгтийн хөдөлгөөний хүрээ нь дор хаяж дараах хэмжээтэй тохирч байх ёстой: Y: 10 мм;
6. Зэрэгцүүлэх системийн зүүн ба баруун гэрлийн хоолойнууд нь X, y болон Z чиглэлд тус тусад нь хөдөлж чаддаг, X чиглэл: ± 5мм, Y чиглэл: ± 5мм болон Z чиглэл: ± 5мм;
7. Маскны хэмжээ: 2.5 инч, 3 инч, 4 инч, 5 инч;
8. Түүврийн хэмжээ: фрагмент, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Дээжийн зузаанд тохиромжтой: 0.5-6мм, хамгийн ихдээ 20мм дээжийн хэсгүүдийг (өөрчлөн тохируулсан) дэмжих боломжтой;
10. Гэрэл өгөх горим: цаг хугацаа (тоолох горим);
11. Гэрэлтүүлгийн жигд бус байдал: <2.5%;
12. Хос талбарын CCD тохируулгын микроскоп: томруулдаг линз (1-5 удаа) + микроскопын объектив линз;
13. Дээжтэй харьцуулахад маскны хөдөлгөөний хэмжилт нь дор хаяж дараах хэмжээтэй тохирч байх ёстой: X: 5мм; Y: 5мм; : 6º；
14. ★ Гэрлийн энергийн нягтрал: > 30MW / см2,
15. ★ Зэрэгцүүлэлтийн байрлал болон өртөлтийн байрлал нь хоёр станцад ажилладаг бөгөөд хоёр станцын серво мотор автоматаар шилждэг;
16. Холбоо барих даралтыг тэгшлэх нь мэдрэгчээр дамжуулан давтагдах боломжийг хангадаг;
17. ★ Зэрэгцүүлэлтийн зай болон гэрэл тусах зайг дижитал хэлбэрээр тохируулж болно;
18. ★ Энэ нь нано хэвлэмэл интерфэйс болон ойрын зайн интерфэйстэй;
19. ★ Мэдрэгчтэй дэлгэцийн ажиллагаа;
20. Нийт хэмжээс: Ойролцоогоор 1400мм (урт) 900мм (өргөн) 1500мм (өндөр).
