Литографийн машин Маск Aligner Photo-Etching Machine
Бүтээгдэхүүний танилцуулга
Өртөх гэрлийн эх үүсвэр нь импортын хэт ягаан туяаны LED болон гэрлийн эх үүсвэрийн хэлбэржүүлэгч модулийг ашигладаг бөгөөд бага дулаан, гэрлийн эх үүсвэрийн тогтвортой байдал сайтай.
Урвуутай гэрэлтүүлгийн бүтэц нь дулааныг сайн тараах, гэрлийн эх үүсвэрийг ойртуулах нөлөөтэй бөгөөд мөнгөн усны чийдэнг солих, засвар үйлчилгээ хийх нь энгийн бөгөөд тохиромжтой. Өндөр томруулдаг дуран хос талбарын микроскоп, 21 инчийн өргөн LCD дэлгэцээр тоноглогдсон, нүдээр зэрэгцүүлэх боломжтой.
нүдний шил эсвэл CCD + дэлгэц, өндөр зэрэгцүүлэх нарийвчлал, мэдрэмжтэй процесс, тохиромжтой ажиллагаатай.
Онцлогууд
Фрагмент боловсруулах функцтэй
Холбоо барих даралтыг тэгшлэх нь мэдрэгчээр дамжуулан давтагдах чадварыг баталгаажуулдаг
Тохируулгын цоорхой ба өртөлтийн зөрүүг дижитал байдлаар тохируулж болно
Суулгагдсан компьютер ашиглах + мэдрэгчтэй дэлгэцийн ажиллагаа, энгийн бөгөөд тохиромжтой, үзэсгэлэнтэй, өгөөмөр
Дээш доош татах төрлийн хавтан, энгийн бөгөөд тохиромжтой
Вакуум контактын өртөлт, хатуу холбоо барих өртөлт, даралттай холбоо барих өртөлт, ойрын өртөлтийг дэмжинэ
Нано дардастай интерфэйсийн функцтэй
Нэг түлхүүрээр нэг давхаргад өртөх, өндөр түвшний автоматжуулалт
Энэхүү машин нь найдвартай, тохиромжтой загвартай, ялангуяа коллеж, их дээд сургуулиудын сургалт, шинжлэх ухааны судалгаа, үйлдвэрүүдэд тохиромжтой.
Илүү дэлгэрэнгүй
Тодорхойлолт
1. Өртөх талбай: 110мм × 110мм；
2. ★ Өртөх долгионы урт: 365нм;
3. Нарийвчлал: ≤ 1м;
4. Зэрэгцүүлэх нарийвчлал: 0.8м;
5. Зэрэгцүүлэх системийн сканнерын хүснэгтийн хөдөлгөөний хүрээ нь дор хаяж хангасан байх ёстой: Y: 10мм;
6. Тохируулгын системийн зүүн ба баруун гэрлийн хоолой нь X, y, Z чиглэлд тус тусад нь хөдөлж болно, X чиглэлд: ± 5мм, Y чиглэл: ± 5мм ба Z чиглэлд: ± 5мм;
7. Маскийн хэмжээ: 2.5 инч, 3 инч, 4 инч, 5 инч;
8. Дээжийн хэмжээ: фрагмент, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Дээжний зузаан нь тохиромжтой: 0.5-6мм, хамгийн ихдээ 20мм дээжийг дэмжих боломжтой (захиалагдсан);
10. Өртөх горим: цаг хугацаа (тоолох горим);
11. Гэрэлтүүлгийн жигд бус байдал: ＜ 2.5%;
12. Хос талбарын CCD тохируулагч микроскоп: томруулах линз (1-5 удаа) + микроскопын объектив линз;
13. Дээжтэй харьцуулахад маскны хөдөлгөөний цохилт нь дор хаяж хангасан байх ёстой: X: 5мм; Y: 5мм; : 6º；
14. ★ Өртөх энергийн нягт: > 30МВт/см2,
15. ★ Зэрэгцүүлэх байрлал ба өртөх байрлал нь хоёр станцад ажилладаг бөгөөд хоёр станцын серво мотор автоматаар солигддог;
16. Холбоо барих даралтыг тэгшлэх нь мэдрэгчээр дамжуулан давтагдах чадварыг баталгаажуулдаг;
17. ★ Тохируулгын цоорхой ба өртөлтийн зөрүүг дижитал байдлаар тохируулах боломжтой;
18. ★ Энэ нь нано дардастай интерфэйс болон ойрын интерфейстэй;
19. ★ Мэдрэгчтэй дэлгэцийн ажиллагаа;
20. Ерөнхий хэмжээс: Ойролцоогоор 1400мм (урт) 900мм (өргөн) 1500мм (өндөр).
